Introduction

HF-012 Measurement of DC IV, CV, and pulsed-IV up to 10 kV and 500 A (pulsed) of power device datasheet. The switch characteristics are only for 3 package type. Microsanj thermal analysis systems are provided with nanoscale-level thermal analysis capability.

本系統可提供高功率元件【直流-脈衝(DC-pulsed)電性測試】與【交流動態(AC-dynamic)電性測試】兩種測試，茲分別說明如下。

【直流/脈衝(DC/pulsed)電性測試】之主要量測儀器為功率元件分析儀Keysight B1505A，其中包含B1511A (MPSMU)、B1512A (HCSMU)、B1513A (HVSMU) 、B1514A (MCSMU)、B1520A (MFCMU)，利用內建Keysight EasyEXPERT軟體操作，測得功率元件之電流電壓、電容電壓、崩潰電壓等電性參數。本系統使用Cascade Microtech TESLA半自動式探針台，配備有升降溫系統，並可搭配軟體設定使用進行晶圓級自動測試，另備有Keysight 1259A 與Keysight 1265A Test Fixture可進行封裝元件測試。

1. B1511A (MPSMU)：
   ±20 V I_out≦±100 mA ；±40 V I_out≦±50 mA ；±100 V I_out≦±20 mA
2. B1512A (HCSMU)：
   ±40 V I_out≦±1000 mA ；±20 V I_out≦±20 A (pulsed mode)
3. B1513A (HVSMU)：
   ±1500 V I_out≦±8 mA ；±3000 V I_out≦±4 mA
4. B1514A (MCSMU)：
   ±30V I_out≦±100 mA；±30 V I_out≦±1A (pulsed mode)
5. B1520A (MFCMU)：
   Frequency：1kHz ~ 5MHz
6. 升降溫系統範圍：
   +25℃ ~ +200℃
7. N1265A (UHC)：
   60 V/500 A (PW: 10us-1ms)
8. N1266A (HVMCU)：
   1500 V/2.5 A、2200 V/1.1 A (PW: 10us-100us)； 2200 V/110 mA (PW: 10us-1ms)
9. N1272A (Device Capacitance Selector)：
   Frequency：1kHz ~ 1MHz Voltage：+3000V (Ciss, Coss, Crss, Rg)
10. N1274A (Gate Charge Measurement, Qg)：
    Voltage：+3000 V； Current：+20 A (On Wafer)；Current：+500 A (Package)
11. N1267A (HVSMU/HCSMU Fast Switch)
12. N1268A (Ultra High Voltage)
    ±10000 V I_out≦±10 mA；±10000 V I_out≦±20 mA (pulsed mode)

1. 可測試封裝種類：TO-220，TO-247，PQFN(8x8)
2. Input Voltage：≦ ±30 V； Input Current：≦ 10 A
   Output Current：≦ 500 A； Output Voltage：10 V~ 1500 V
3. Short-Circuit Test
   Output Current：≦ 2000 A；Output Voltage：10 V~ 1500 V

1. Output Voltage：≦ ±10 V； Output Current：≦ 1 A
2. Multiple sensors available for TR and IR imaging
3. Spectral Range: 400 nm to 800 nm for TR Mode, 7.5 microns to 13.5 microns for IR Mode
4. Active Thermal Pixels: 1920 x 1200 for TR Mode, 640 x 512 for IR Mode
5. Transient Resolution: 50 microseconds