4K超低溫探針量測平台

儀器名稱
4K超低溫探針量測平台
儀器名稱英文
4K Cryogenic Probe Station
編號
HF-016
地區
新竹
機台類別
低溫量測
開放等級
B3
聯絡窗口
陳先生   03-5773693 #7570
聯絡信箱
bychen@narlabs.org.tw
開放預約方式
預約制   排單制   自行操作
上次資訊更新
2025.01.13
 
 

Introduction

This cryogenic probe station is a six-probe system capable of reaching a low temperature of 4K using a cryogen-free closed-cycle refrigerant probe station. The system provides precisely controlled environments for the electrical properties, including 4-point probe IV characterization and 2-port S-parameters up to 50 GHz.

Service

  1. Temperature Range：4K ~ 300K (-269℃ ~ 27℃)
  2. IV measurement. Voltage Range：±100 V, Current Range：±100 mA
  3. CV measurement. Voltage Range: ±25 V, Frequency Range: 1 KHz ~ 5 MHz
  4. 2-port S-parameter measurement：100 MHz ~ 50 GHz
  5. Low Frequency Noise measurement. Frequency Range: 1 Hz ~ 100 KHz, Voltage Range：±50 V, Current Range：±100 mA
  6. DUT: MOSFET, BJT, HEMT, HBT, Resistance, Capacitor, Inductor etc.

Hardware

  1. Lake Shore CRX-4K Cryogenic Probe Station
  2. Keysight N5247B Network Analyzer
  3. Keysight B1500A Semiconductor Device Analyzer, (B1517*3, B1510*1, B1520*1)
  4. Bias Tee：Anritsu SC7287 100 MHz ~ 65 GHz, Max. Voltage 50 V, Max. Current 500 mA. 
  5. Primarius 9812E, FS-Pro Semiconductor Parameter Analyzer

Software

  1. Keysight EasyEXPERT
  2. Keysight PathWave IC-CAP
  3. NoisePro Plus

Supplementary Information

本系統由室溫降溫至低溫(300K to 4K)時間約為2.5~3小時。為有效利用量測時段，建議於量測前一工作天將試片交付工程師，以利提前放置試片於腔體，並於必要時調整儀器架設，以便量測當日降至量測溫度。
收費標準
常見問題
 

注意事項

無故未到仍將依本中心計費標準收費
【預約制】預約完成後請依各儀器預約時間至本中心，如須取消請於3天前在網頁上取消
【排單制】依約至本中心，如須改期等請提前與負責工程師聯絡
【自行操作】預約後請依時使用
超低溫電性量測平台規範.pdf HF-016_TestPlan.pptx

儀器預約使用步驟說明

預約者進入TSRI首頁/量測服務/選取預約項目，登錄預約系統。
 
 
  1. 【預約制】請依顯示可預約之畫面進行預約。
  2. 【排單制】送出申請單後，待確認量測需求後將透過系統進行排單日期通知。
  3. 請預約者按約定時間至本中心進行量測，避免資源浪費，無故未到者將依該時段最低收費時數進行收費。
  4. 預約者預約及量測完成後，透過系統將收到預約完成，審核與結案時數等E-mail通知，如期限內未提出異議，請在繳費期限內完成付費，若未收到信件者需與本中心進行確認。
  5. 實驗室內所有儀器、耗材使用後務必歸回原位，保持整潔，方便下位使用者使用。
  6. 所有儀器與耗材元件，於使用中若發生異狀( 損壞、遺失、特性或功能錯誤)，需即時停用並告知實驗室管理人員處理。
  7. 實驗室電腦並無對外開放同學請勿自行操作，更無開放遠端連回訪客電腦，若有需求請通知工讀生或管理人員代為操作。
  8. 專人量測開放時間為上午 9:00~12:00與下午 13:00~17:00，中午休息時間實驗室將會關閉，請同學至中庭區休息。
  9. 實驗室內禁止吃東西及喝飲料。
  10. TSRI保留一切核准使用權利。